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單晶和多晶少數載流子壽命在線測試設備

  • 簡單描述：應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。
    在線面掃和單點檢測MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
    樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從
  • 更新時間：2024-08-29
  • 產品型號：MDPlinescan
詳細介紹

各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。硬件系統被靈活地安裝來執行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統或自動化系統進行簡單的連接和通信。

 

MDPlinescan被設計成一個易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動化檢測上。關鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機器人系統傳送。應用實例范圍從磚塊到晶片檢查，測量速度小于每晶片一秒。電池生產線的進料質量調查是常見的應用案例，以及在鈍化和擴散之后的工藝質量檢查，在許多其他的專業應用領域也有很大的可能性。只需要集成以太網連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。


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